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Halbleiter waren bereits im 19 Jahrhundert bekannt und wurden auch als Gleichrichter genutzt. Da aber weder Eigenschaften genauer untersucht waren noch die technischen Voraussetzungen für die Herstellung von Halbleitern mit bestimmten Eigenschaften bestanden, konzentrierten sich Physik und Technik zunächst auf die Entwicklung von Elektronenröhren und deren Anwendung.
Der entscheidenden Durchbruch gelang 1947-1949 mit der Entdeckung des Transistoreffekts.
Erste Anwendungen von Transistoren kamen ab 1953 auf den Markt (Hörgeräte, Transistorradios).
In den sechziger Jahren begann die Entwicklung von Chips. 1965 konnte man 30 Bauelemente auf einem Chip unterbringen, heute sind es weit über eine Million.

Die Planartechnik ist eine Form der Halbleitertechnologie und hat gegenwärtig die größte Bedeutung für die Fertigung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen. Ausgangspunkt sind meist Einkristall-Silicium-Scheiben (Wafer), auf denen mithilfe der Maskentechnik in Verbindung mit der Fotolithografie Bauelemente und Verbindungen aufgebracht werden.

Integrierte Schaltungen sind mikroelektronische Bauelemente, bei denen auf einem Halbleitermaterial durch Dotieren sehr viele Transistoren, Dioden, Widerstände oder andere Funktionsteile einschließlich ihrer Verbindungen aufgebracht wurden. Als Halbleiter wird oft Silicium verwandt, dem man die Form eines flachen rechteckigen Plättchens verleiht. Dieses Plättchen ist der Chip.