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Die Planartechnik ist eine Form der Halbleitertechnologie und hat gegenwärtig die größte Bedeutung für die Fertigung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen. Ausgangspunkt sind meist Einkristall-Silicium-Scheiben (Wafer), auf denen mithilfe der Maskentechnik in Verbindung mit der Fotolithografie Bauelemente und Verbindungen aufgebracht werden.