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Die Planartechnik ist eine Form der Halbleitertechnologie und hat gegenwärtig die größte Bedeutung für die Fertigung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen. Ausgangspunkt sind meist Einkristall-Silicium-Scheiben (Wafer), auf denen mithilfe der Maskentechnik in Verbindung mit der Fotolithografie Bauelemente und Verbindungen aufgebracht werden.

Als Dotieren bezeichnet man den Einbau von Fremdatomen in den atomaren Gitterverbund von Halbleitern. Dadurch kann man gezielt die elektrische Leitung in Halbleitern, die sowohl auf der Elektronen- als auch auf der Löcherleitung beruht, beeinflussen.